硅烷
运输状态:压缩气体
产品名称:硅烷
主要性质:无色、自燃气体
联合国编号:2203
气瓶颜色:银灰
危险化学品等级:2.1
标识:易燃
MSDS编号:EIGA107
CAS编号:7803-62-5
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产品详情
物理性质
分子量:32.112g/mo
标准状态下气体密度:1.44g/L
与空气的比重:1.1161
包装规格
气瓶规格:47L
充装重量:10/12kg
阀门出口类型:DISS632
推荐减压器:Spectropur SBE3
产品规格 | ||
产品等级 |
6.0 |
|
SiH4 |
≥99.9999% |
|
杂质含量 | ||
O₂+Ar |
≤ |
1.0ppm |
N₂ |
≤ |
1.0ppm |
CO |
≤ |
0.1ppm |
CO₂ |
≤ |
0.1ppm |
CH4 |
≤ |
0.1ppm |
H₂ |
≤ |
20ppm |
H₂O |
≤ |
0.5ppm |